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会员动态 | 国产高端仪器 发力超痕量检测
来源： 时间： 2026-04-10 浏览量：57 关闭
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当检测要求从 ppm（百万分之一）、ppt（万亿分之一）继续向更低浓度推进，超痕量金属检测能力，正成为高端制造中的关键一环。
2026年，聚光科技自主孵化子公司谱育科技正式推出EXPEC 7350S Plus系列三重四极杆电感耦合等离子体质谱仪（ICP-MS/MS）。
该产品依托成熟ICP-MS技术平台，面向半导体及高端制造场景完成专项升级。
01
良率的“隐形杀手”
金属杂质必须被看见
随着集成电路持续迈向先进制程，对残留金属杂质控制水平的要求不断提高，相关检测能力已下探至sub-ppt级（十万亿分之一），部分场景甚至达到ppq级（千万亿分之一）。
检测能力不足，可能导致批量晶圆良率下降。长期以来，相关高端检测设备市场主要由海外厂商主导。
EXPEC 7350S Plus的推出，体现了国产仪器在超痕量检测领域的进一步突破。
02 四大能力进阶
从“测得出”到“测得准、测得稳”
EXPEC 7350S Plus 不是简单性能叠加，而是围绕半导体超痕量检测场景，对自主可控、检测灵敏度、产线适配、定制响应四项能力进行深度升级。
全自主可控：核心软硬件自研，安全更有保障
sub-ppt级灵敏度：在十万亿分之一中精准“捕获”金属杂质
VPD全自动联用：从实验室到产线，检测流程无缝衔接
敏捷响应本土需求：更贴近国内应用场景
03
用在哪里
半导体、高纯材料、高端制造
半导体/电子：12英寸晶圆表面金属离子分析、碳化硅片检测
高纯材料：超纯湿电子化学品、电子特气、高纯金属溅射靶材纯度分析
其他领域：各类超痕量元素分析及相关工业检测场景
04
不止于检测
国产高端仪器的使命与进阶
当半导体制造持续迈向更先进工艺，分析检测设备早已不只是实验室工具，更是先进制造体系的重要支撑。
从关键硬件与软件体系自主开发，到sub-ppt级超痕量检测能力提升，再到面向VPD联用与产线流程的深度适配。
EXPEC 7350S Plus系列三重四极杆电感耦合等离子体质谱仪（ICP-MS/MS），体现了国产高端科学仪器在半导体关键检测场景中的持续进阶。
聚光科技将持续深耕高端分析检测技术，依托ICP-MS系列的技术积累与产业化经验，为半导体及高端制造等领域提供更可靠、更自主、更高效的分析检测解决方案。